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產(chǎn)品特點：

可實現(xiàn)更小占地面積、卓越生產(chǎn)力、極佳清潔效果的批次設(shè)備。

可實現(xiàn)芯片干進干出需求，搭配Maragoni Dryer或在線式旋干機等各種干燥技術(shù)。

高精度自動配液混酸，全自動系列客制化機種。

模組化設(shè)計易于維護，降低維修各項成本。

12” ,8” ,6”各種尺寸光罩清洗。